Тестер полупроводниковых пластин ФСМ 1201П

ИК Фурье-спектрометрия является эффективным инструментом неразрушающего контроля полупроводниковых пластин и структур, что обеспечивается международно-признанными стандартами SEMI.

Тестер для контроля параметров полупроводниковых пластин ФСМ 1201П позволяет в соответствии с заданной оператором программой проводить автоматическое измерение плоскопараллельных полированных пластин кремния диаметром 76, 100, 125, 150 и 200 мм, размещаемых на измерительном столе. Время стандартного измерения в одной точке не более 20 с.

Основные контролируемые параметры:

• концентрация междуузельного кислорода (толщина пластин 0,4–2,0 мм) в пределах (5×10¹⁵–2×10¹⁸)±5×10¹⁵ см^-3 (SEMI MF1188);
• концентрация углерода замещения (толщина пластин 0,4–2,0 мм) в пределах: (10¹⁶–5×10¹⁷)±10¹⁶ см^-3 (SEMI MF1391);
• радиальная неоднородность распределения кислорода в кремниевых пластинах (SEMI MF951);
• толщина эпитаксиальных слоев кремниевых структур типа n-n+ и p-p+ в пределах (0,5–10,0)±0,1 мкм, (10–200)±1% мкм (SEMI MF95);
• толщина эпитаксиальных слоев кремния в структурах КНС в пределах (0,1–10,0)±1% мкм;
• концентрация фосфора в слоях ФСС и бора/фосфора в слоях БФСС в пределах (1–10)±0,2 % вес.