Тестер полупроводниковых пластин ФСМ 1201П
ИК Фурье-спектрометрия является эффективным инструментом неразрушающего контроля полупроводниковых пластин и структур, что обеспечивается международно-признанными стандартами SEMI.
Тестер для контроля параметров полупроводниковых пластин ФСМ 1201П позволяет в соответствии с заданной оператором программой проводить автоматическое измерение плоскопараллельных полированных пластин кремния диаметром 76, 100, 125, 150 и 200 мм, размещаемых на измерительном столе. Время стандартного измерения в одной точке не более 20 с.
Основные контролируемые параметры:
- концентрация междуузельного кислорода (толщина пластин 0,4–2,0 мм) в пределах (5×1015–2×1018)±5×1015 см-3 (SEMI MF1188);
- концентрация углерода замещения (толщина пластин 0,4–2,0 мм) в пределах: (1016–5×1017)±1016 см-3 (SEMI MF1391);
- радиальная неоднородность распределения кислорода в кремниевых пластинах (SEMI MF951);
- толщина эпитаксиальных слоев кремниевых структур типа n-n+ и p-p+ в пределах (0,5–10,0)±0,1 мкм, (10–200)±1% мкм (SEMI MF95);
- толщина эпитаксиальных слоев кремния в структурах КНС в пределах (0,1–10,0)±1% мкм;
- концентрация фосфора в слоях ФСС и бора/фосфора в слоях БФСС в пределах (1–10)±0,2 % вес.
Модель | ФСМ 1201П |
Спектральный диапазон, см-1 | 400–7800 |
Спектральное разрешение, см-1 | 1 |
Погрешность калибровки шкалы волновых чисел не более, см-1 | 0,1 |
Среднее квадратическое отклонение линии 100% пропускания (1950 2050 см-1, разрешение 4 см-1, 20 сканов) не более, % | 0,025 |
Отклонение линии 100% пропускания от номинального значения (5 мин.) не более, % | ±0,5 |
Линейность фотоприемной системы (уровень псевдорассеянного света) не более, % | ±0,25 |
Светоделитель | KBr с многослойным покрытием на основе Ge |
Детектор | DTGS |