Тестер полупроводниковых пластин ФСМ 1201П

ИК Фурье-спектрометрия является эффективным инструментом неразрушающего контроля полупроводниковых пластин и структур, что обеспечивается международно-признанными стандартами SEMI.

Тестер для контроля параметров полупроводниковых пластин ФСМ 1201П позволяет в соответствии с заданной оператором программой проводить автоматическое измерение плоскопараллельных полированных пластин кремния диаметром 76, 100, 125, 150 и 200 мм, размещаемых на измерительном столе. Время стандартного измерения в одной точке не более 20 с.

Основные контролируемые параметры:

  • концентрация междуузельного кислорода (толщина пластин 0,4–2,0 мм) в пределах (5×1015–2×1018)±5×1015 см-3 (SEMI MF1188);
  • концентрация углерода замещения (толщина пластин 0,4–2,0 мм) в пределах: (1016–5×1017)±1016 см-3 (SEMI MF1391);
  • радиальная неоднородность распределения кислорода в кремниевых пластинах (SEMI MF951);
  • толщина эпитаксиальных слоев кремниевых структур типа n-n+ и p-p+ в пределах (0,5–10,0)±0,1 мкм, (10–200)±1% мкм (SEMI MF95);
  • толщина эпитаксиальных слоев кремния в структурах КНС в пределах (0,1–10,0)±1% мкм;
  • концентрация фосфора в слоях ФСС и бора/фосфора в слоях БФСС в пределах (1–10)±0,2 % вес.
Модель ФСМ 1201П
Спектральный диапазон, см-1 400–7800
Спектральное разрешение, см-1 1
Погрешность калибровки шкалы волновых чисел не более, см-1 0,1
Среднее квадратическое отклонение линии 100% пропускания (1950 2050 см-1, разрешение 4 см-1, 20 сканов) не более, % 0,025
Отклонение линии 100% пропускания от номинального значения (5 мин.) не более, %  ±0,5
Линейность фотоприемной системы (уровень псевдорассеянного света) не более, %  ±0,25
 Светоделитель KBr с многослойным покрытием на основе Ge
 Детектор DTGS
Для получения более подробной информации Вы можете воспользоваться формой обратной связи или обратиться к нам в офис:

Комментарии закрыты.